無塵室設備

1。石英玻璃的品種：

從外觀來分，石英玻璃石英管可分成透明和不透明兩大類。透明石英玻璃又可分為普通石英玻璃、高純石英玻璃和摻雜石英玻璃。

按照產品形狀可分為管材、棒材、板材、坩堝、鐘罩和燈工制成品以及石英玻陶瓷璃纖維石英棉等。

從特殊功能方面還有低膨脹石英玻璃、耐輻照石英玻璃、透紫外或透紅外石英玻璃、濾紫外石英玻璃等。

從制造方法來分，石英玻璃也可分成兩大類，一種是天然石英玻璃，一種是合成石英玻璃。天然石英玻璃是用天然水晶或硅石作原料經高溫熔制而成的，合成石英玻璃則使用無機或有機含硅的液體化合物(如四氯化硅)經火焰水解合成工藝制成。由於合成石英玻璃比用天然原料制成的石英玻璃純度高，品質好，因此又被稱為高純石英玻璃，天然石英玻璃又被稱為普通石英玻璃。

2。石英玻璃的主要用途：

由於石英玻璃具有其他材料不能取代的一系列特殊性能，因此，石英玻璃的應用所涉及的技術領域十分廣泛：

(1)由於石英玻璃具有優良的耐高溫性能，因此被廣石英泛應用於冶金、化工等工業需要耐高溫的設備中。

(2)廣泛應用於核工業和航空航天領域中，火箭、飛船的觀察窗及保溫外殼就是用石英玻璃制作的。

(3)由於石英玻璃在高溫下的化學穩定性，是其他工程材料無法比擬的，因此被廣泛應用於化工、制藥等工業中。

(4)由於石英玻璃耐高溫且透過率高，因此被廣泛應用於國防軍工以及新型電光源等高科技領域。

(5)由於石英玻璃具有極佳的光譜特性，不僅可以透過可見光，而且可以透過紅外線、紫外線，因此被廣泛應用於微電子、信息、激光及天文學中，光導纖維就是用石英玻璃制成的。

(6)因采用連續熔化工藝制造的小口徑透明或不透明石英玻璃管成本低廉，但又不失耐高溫的特性，所以石英舟被大量用於對石英玻璃品質要求不太高的電光源行業和遠紅外發熱器上。

(7)因石英玻璃的高純度、耐高溫、低的熱膨脹性等優良性能而被大量用於電子工業的生產中，如在對單晶硅片進行摻雜、擴散、氧化、退火等關鍵工序中使用的石英玻璃擴散管；硅片外延工序使用的石英鐘罩；硅片酸洗和超聲波清洗工序使用的花籃、支架；硅片擴散工序使用的硅片承載器(石英玻璃舟)；拉制單晶硅工序中使用的石英坩堝等都是用石英玻璃制成的。

(8)為防止污染，提高產品的純度，在多晶硅生產中用的精餾塔、揮發器(鼓泡器)以及進料管大都采用石英玻璃制造。